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更新日期：2025-05-02
簡要描述：
日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列本產(chǎn)品是一種換能器型多離子真空計，可連接不同量程的測量頭。在將常規(guī)方法的多種原理集成到一個外殼中的復(fù)雜真空計中，“一根測針需要*更換測針"、“測針復(fù)雜易出故障"、“一根測針"。我經(jīng)常聽到客戶反饋，例如“貴"。
日本shibaura換能器型多離子真空計GMi 系列
本產(chǎn)品是一種換能器型多離子真空計，可連接不同量程的測量頭。
在將常規(guī)方法的多種原理集成到一個外殼中的復(fù)雜真空計中，“一根測針需要*更換測針"、“測針復(fù)雜易出故障"、“一根測針"。我經(jīng)常聽到客戶反饋，例如“貴"。
采用這種方法，可以進行寬帶測量，顯著降低運行成本，并支持低環(huán)境負荷。
廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5至 5 × 10 -8 Pa）（同時使用 GPM 和 GAM 時）。
可連接不同量程
的測針，采用多離子規(guī)，可根據(jù)應(yīng)用選擇測針。
準確的大氣壓測量
可以輕松準確地確認大氣壓（使用 GAM 時）
支持低環(huán)境負荷
由于可以根據(jù)需要僅更換觸控筆，因此可以降低運行成本。
配備可檢查異常情況的 LED，以提高可視性
易于更換可維護的觸控筆
各模式規(guī)格（組合模式）
GMi+GPM（離子規(guī)+皮拉尼規(guī)）
GMi+GPM+GAM（離子規(guī)+皮拉尼規(guī)+氣壓傳感器）
測量值輸出信號
壓力為0～10V輸出（Log輸出）
控制輸出信號
設(shè)定點 3 點輸出是可能的 (GMi-1)
串行通信規(guī)格
RS232C / RS485 通信是可能的（GMi-2）
符合標準 符合
CE 標準
用于太陽能電池、FPD、半導(dǎo)體、電子元件等各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的工藝控制
在線式、單晶片式等多工藝室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力確認
高真空/超高真空設(shè)備的壓力測量
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 標準規(guī)格 | 串行通信規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子規(guī)傳感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) | ||
| 可以連接 | 傳感器 多離子規(guī) 傳感器：1 個 皮拉尼規(guī) GPM：1 個（可選） 大氣壓力傳感器 GAM：1 個（可選） | ||
| 采樣時間 | 70 毫秒 4 個移動平均線 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10 V，Log 輸出 0.75 V / 1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V = 7.25 + 0.75 × (Log P -2) P = 10 ^ {(V --7.25) / 0.75 + 2} * 用于設(shè)定點調(diào)整也可用作（僅 GMi-1）的輸出電源 | ||
| 更新時間 | 50 毫秒 | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON / OFF, FIL 1/2, DEGAS ON / OFF 集電極開路輸入，負邏輯 * FIL ON / OFF 信號的使用方法因模式而異。 | ―――― | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設(shè)定點1/2/3 排放Ballid 燈絲電源監(jiān)控 額定值：24 VMAX，50 mAMAX， 飽和電壓 1 V | ―――― | |
| 串行通信規(guī)格 | ―――― | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | POWER / ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態(tài)取決于每種模式） FIL：發(fā)射球 LED | ||
| SET1：設(shè)定點1 LED SET2：設(shè)定點 2 LED SET3：設(shè)定點 3 LED | ―――― | ||
| 發(fā)射電流 | 1 mA（1 x 10 -3 Pa 或更?。?，10 µA | ||
| 脫氣 | 電子沖擊解吸法（電子轟擊）1 mA，330 V | ||
| 傳感器耐壓 | 2 x 10 5 Pa（絕對壓力） * 法蘭和卡箍的承受壓力需要單獨考慮。 | ||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 34 厘米3 (M34) | ||
| 工作溫度限制 | 10-50℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80%（但無冷凝） | ||
| 貯存溫度 | -20～65℃（不通電時不結(jié)露） | ||
| 知識產(chǎn)權(quán)保護等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | DC 20-28 V（紋波、噪聲 1% 或更低） 19 W 或更低（電源打開時為 156 W） | ||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15針（M2.6螺絲） | ||
| 大量的 | 控制器：約 530 克，BA 觸控筆（M34）：63 克 | ||
| 外形尺寸 W x D x H (mm) | 144 x 75 x 62 或更小（控制器部分） | ||
| 符合標準 | 行政長官 | ||
| 選項 | POWER / ERROR：多離子規(guī)傳感器 | M34 (NW16), M35 (NW25) 材質(zhì)：燈絲 1 lr / Y 2 O 3涂層，燈絲 2 W（鎢） 其他 Pt C Mo, SUS, W | |
| 皮拉尼規(guī) | SPU | ||
| 皮拉尼規(guī)傳感器 | WP-16 (NW16) 材質(zhì)：燈絲 Pt、其他 BS / Ni、電鍍、鎳、焊料 | ||
| 氣壓傳感器 | GAM (NW16) 材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | GPM 為 0.5 毫米 GAM為 0.5 毫米 | ||
| 顯示單元 | 1 CH：ISG1 型（使用DC 24 V 電源） 4 CH：IM1R1 型（使用DC 24 V 電源） IM2R1 型（使用AC 100 V 電源） | ||
| 顯示電纜 | GMi 和顯示單元之間的電纜 2 m、5 m、10 m、15 m | ||
