日本screen用于光刻的黃光源SEBAPRO Light 光學(xué)測(cè)量?jī)x

活躍于各種光刻環(huán)境。

光源使用不具有抗蝕劑敏感波長(zhǎng)范圍的國(guó)產(chǎn)高亮度LED。維護(hù)工程師和工藝工程師可以放心使用。高效的驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了與白光LED同等的功耗水平。采用變焦機(jī)構(gòu)，投光區(qū)域可通過(guò)操作調(diào)節(jié)環(huán)從寬到窄自由調(diào)節(jié)。

特征

• 光源使用不具有抗蝕劑敏感波長(zhǎng)范圍的黃色LED。

• 采用高亮度、高效率的驅(qū)動(dòng)電路。實(shí)現(xiàn)與白色 LED 相同的省電水平。

• 平衡合身性和便攜性的設(shè)計(jì)。隨附一條帶子以確保牢固固定。

SEBAPRO Light（光刻和維護(hù)用燈）

一種高強(qiáng)度黃光，非常適合在高級(jí)曝光機(jī)和涂布機(jī)/顯影設(shè)備等光刻環(huán)境中工作。它消除了暴露在白光下的風(fēng)險(xiǎn)，并顯著提高了可加工性。

最新型號(hào)為充電規(guī)范Rev2。

SEBAPRO Light Surface（用于檢查不均勻涂層的光）

便于現(xiàn)場(chǎng)檢查涂層不均勻性的手持燈。使現(xiàn)場(chǎng)決策更快，大大改善了過(guò)程評(píng)估和設(shè)備條件設(shè)置工作。

后繼車型于 2021 年 4 月發(fā)布。

發(fā)射光譜